羊城晚報全媒體記者 李程 梁輝森 通訊員 梁曄

從追趕到引領，短短數年，先導薄膜材料有限公司(以下簡稱“先導薄膜”)完成了一場令人矚目的行業逆襲，在全球ITO靶材行業實現“遙遙領先”，補齊了國內行業技術和產能的短板。

據了解，先導薄膜主要從事陶瓷靶材和金屬靶材產品的研發、生產和銷售，是先導科技集團下屬子公司。該公司是國內首批進入磁存儲靶材領域的供應商，也是國內率先交付G4.5代AMOLED高遷氧化物靶材、率先實現高世代液晶顯示面板用ITO靶材量產的企業。當前，該公司ITO靶材全球市場占有率超三成，產能躍居全球第一，客戶涵蓋京東方、TCL華星光電、三星、LG等全球知名廠商。

走好“突圍路”，打破ITO靶材國外壟斷

ITO靶材是一種透明電極薄膜材料，具有高的導電率、高的可見光透過率、高的機械硬度和良好的化學穩定性，常用于顯示面板、觸摸面板、太陽能電池等的制造，同時在智能建筑與汽車等領域也具有廣泛應用。

以前，國內ITO靶材只能依賴外國進口。2014年以來，國內企業開始涉及這一領域，但大多只能制備低端ITO靶材，能制備高端ITO靶材的企業較少，主要的市場份額依然由國外企業掌控。因此，打破國外ITO靶材制備技術壟斷、實現高端ITO靶材的國產化、保證國內顯示產業關鍵原材料的穩定供應，迫在眉睫。

先導薄膜基地負責人胡智向介紹，開展ITO靶材研發后，公司兩條腿走路，一方面通過外延式擴張，不斷擴充實力；另一方面持續加大投入，形成以自主研發為引領的研發模式，使得公司技術水平和研發實力實現了連續高水平躍升。

研發過程中，ITO靶材尺寸和致密度是兩大關鍵難題。“公司積極與高校合作交流，引進技術人才，提升創新能力。”胡智向表示，公司還與設備廠商合作，設計和開發新型大尺寸高精度氣氛燒結設備，通過大量實驗和數據分析，找到工藝突破點。

經過不懈努力，先導薄膜在ITO靶材技術研發上取得了眾多獨特的技術創新和專利成果。在純度提升方面，采用化學沉淀和電化學提純方法提高原料純度；在制備高密度大尺寸靶材上，運用新型大型成型設備和先進的燒結技術。這些創新成果不僅提高了產品質量，更增強了核心競爭力。

2020年5月，先導薄膜G4.5代線鑭系稀土摻雜金屬氧化物靶材成功交付給華星光電，標志著在高遷移率氧化物靶材領域取得重大技術突破。

走好“協同路”，取得多項先進成果

“公司的發展離不開當地的支持。”胡智向介紹，清遠市開展的先進制造業和高技術制造業企業扶優計劃，推動公司向做強做優做大的方向發展。

在清遠市的支持下，先導薄膜建立了省市兩級工程中心、企業技術中心、廣東省高性能濺射靶材技術與應用企業重點實驗室等平臺，助力ITO靶材產品于2019年通過重點新材料首批次應用保險補償試點項目，并于2023年入選廣東省制造業單項冠軍產品。當前，ITO靶材在該公司產品體系中占據核心地位，是核心技術產品。

憑借卓越的產品品質，先導薄膜榮獲中國有色金屬工業協會科學技術獎一等獎、中國新型顯示產業鏈發展特殊貢獻獎等多項榮譽。

在與廣東省上下游企業的合作上，先導薄膜形成了良好的協同發展模式。一方面，與上游的材料公司合作，通過增加訂單、提高采購量，推動其擴大生產規模、提升產品質量和技術水平。另一方面，與下游企業如TCL華星光電技術有限公司緊密合作。此外，先導薄膜還與上下游企業開展協同創新，聯合高校、科研機構共同參與重點研發計劃項目。

2019年，先導薄膜與廣州新視界光電科技有限公司、深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司、華南理工大學、廣東省半導體產業技術研究院共同參與廣東省重點研發計劃項目——“薄膜晶體管用高遷移率氧化物半導體濺射靶材研究及應用”，獲得了省級支持。經過項目團隊的辛勤努力，該項目已成功驗收，取得了薄膜晶體管用高遷移率氧化物半導體濺射靶材等先進成果。

走好“提升路”，增強企業核心競爭力

如今，先導薄膜已成為行業內的佼佼者，產品獲得國內外客戶和行業協會的高度認可。隨著行業發展和技術進步，ITO靶材市場機遇與挑戰并存。銦作為ITO靶材的核心原材料，資源稀缺且成本高，對大規模應用構成一定阻礙。如何提高ITO廢料的回收和再利用技術以及無銦靶材等替代材料開發，成為行業關注的重點。

對此，胡智向介紹，公司將加大研發投入，基于“原料提純－粉體合成－精密靶材制備”的優勢，開發更多滿足客戶需求的新產品。“目前公司正在開展新型顯示及異質結太陽能用TCO靶材技術改造等新型顯示及光伏產業等項目，推動新型顯示、新一代太陽能電池等應用，齊心協力建設廣東省新型顯示及光伏產業集群。”胡智向說。

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